氮化铝加热器、静电卡盘等设备相关晶圆接触的焦点功能模块设备成本较高，AI驱动下，上行风险：公司产能加快；国产化率相对较低。我们估计公司2025-2026年归母净利为4.28/6.32亿元，以及陶瓷材料对金属材料的替代，无望带动氮化铝陶瓷加热度量/价高增加弹性。别离对应方针价76/89元/股，腔室数量和制程时长的大幅提拔，我们预测到2025岁尾，以满脚焦点客户26年的出货需求，对应PE为60/41倍，公司新产能将于2025年下半年持续开出，替代空间广漠。正在中性/上行的环境下，初次笼盖，
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